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專家信息 科學研究 論文專著

專家信息:


劉忠立, 1940年生,武漢市人,1964年畢業(yè)于清華大學無線電電子學系半導體材料及器件專業(yè)。歷任中國科學院半導體研究所微電子研究及發(fā)展中心主任、研究員、博士生導師、博士后合作導師、所學術(shù)委員會副主任、學位委員會委員、國家傳感技術(shù)重點實驗室副主任,創(chuàng)新重大項目“特種半導體器件及電路”負責人等,F(xiàn)任中國科學院微電子研究所特聘研究員,傳感技術(shù)國家重點實驗室學術(shù)委員會委員、北京市傳感技術(shù)實驗室學術(shù)委員會委員、中國電子學會核輻射電磁脈沖專委會委員、中國國際工程咨詢公司項目評估專家等職,微電子學雜志編委會委員,科學出版社“半導體科學與技術(shù)叢書” 編委會委員。

已在國內(nèi)外重要刊物上發(fā)表論文120余篇,撰寫專著4本,譯著2本,擁有國家發(fā)明專利8項,指導已畢業(yè)的博士生12名,博士后1名,指導已畢業(yè)的碩士生12名。

教育及工作經(jīng)歷:

1964年畢業(yè)于清華大學半導材料及器件專業(yè)。

1964-2010年在中科院半導體研究所工作,2011年起被中科院微電子研究所 聘為教授繼續(xù)工作。

1980-1982年曾作為訪問學者在聯(lián)邦德國多特蒙德大學從事新CMOS器件研究。

1990-1991年在聯(lián)邦德國HMI研究任客座教授所事MOS器件輻射加固物理研究。

學術(shù)兼職:

1、傳感技術(shù)國家重點實驗室學術(shù)委員會委員。

2、北京市傳感技術(shù)國家重點實驗室學術(shù)委員會委員。

3、中國電子學會核輻射電磁脈沖專委會專家委員。

4、中科院軍工項目監(jiān)理部監(jiān)理。

5、“微電子學 ”雜志編委會委員。

6、科學出版社半導體技術(shù)書籍編委會委員。

6、中國國際工程咨詢公司項目評估專家。

7、中電集團SOICMOS技術(shù)研發(fā)中心專家委員會專家。

科學研究:


研究方向:

主要從事從事半導體器件、電路、微傳感器的設(shè)計、制造及輻射加固研究,近年來重點研究抗輻射SOICMOS SRAM、抗輻射SOICMOS FPGA及寬帶隙半導體SiC 功率器件。

承擔的科研項目情況:

長期從事輻射加固集成電路、微傳感器及半導體功率器件研究,是我國最早研制成功MOSFET及JFET器件的主要研究人員之一。20世紀60年代后期至70年代中期,在高質(zhì)量SiO2 生長、檢測以及MOS器件穩(wěn)定性和可靠性方面,做出了很多有意義的開拓性研究成果,1974年負責研制成功CMOS指針式電子手表電路,榮獲北京市科技二等獎。1980-1982年,作為訪問學者在德國多特蒙德大學電子系從事新CMOS器件研究,首創(chuàng)性地提出并負責研制成功離子注入氮形成隱埋Si3N4的CMOS/SOI器件,得到國際同行的認可。1990-1991年,在德國HMI核研究所任客座教授從事MOS器件輻射物理研究,取得有意義的成果。1982年-1989年,負責研制成功“抗輻射CMOS/SOS集成電路”及“長壽命衛(wèi)星抗輻射集成電路”,電路的抗輻射指標達到國際上相應電路的最好水平,分別獲1987年及1991年中科院科技進步二等獎;1992年獲國防科工委光華基金二等獎;1993年獲國家政府特殊津貼及中科院優(yōu)秀教師稱號; 1995負責研制成功重點工程CMOS/SOS抗輻射CMOS/SOS集成電路,獲中科院科技進步三等獎。“八五” 、“九五”及“十五”期間,負責多項國家重大研究課題,均已通過驗收,其中同中科院微電子所合作完成的”64K抗輻射CMOS/SOI SRAM”院重點創(chuàng)新項目,同中電集團58所合作完成的十五預研項目”128K抗輻射CMOS/SOI SRAM”,開拓了我國抗輻射CMOS/SOI輻射加固集成電路的研究領(lǐng)域。此外,“九五”至“十五”期間還負責研制成功高反壓SiC二極管、SiC肖特基二極管、SiC MOS管等國內(nèi)一流的研究成果,十一五責研制成功5萬門抗輻射CMOS/SOI FPGA電路已通過驗收,輻射指標達國際先進水平。

科研成果:

1、1974年負責研制成功我國第一個CMOS指針式電子手表電路,獲北京市科技二等獎。

2、1980年提出并研制成功的離子注入氮形成隱埋的Si3N4層不用處延硅的CMOS/SOI器件是國際上開創(chuàng)性的工作。

3、負責的“抗輻射CMOS/SOS集成電路”及“長壽命衛(wèi)星用抗輻射集成電路”研究項目分別獲1987年及1991年中科院科技進步二等獎。

4、負責的國防重點工程抗輻射加固CMOS/SOS集成電路1995年獲中科院科技進步三等獎。

發(fā)明專利:

1、集成電路的保護結(jié)構(gòu), 劉忠立,劉榮環(huán), 和致經(jīng), 中國科學院半導體研究所, 1990-01-31。

2、一種功率MOSFET驅(qū)動電路, 高峰, 李春寄,劉忠立,于芳 ,中國科學院半導體研究所, 2007-10-17。

3、一種幅度調(diào)制隔離反饋控制電路,高峰, 李春寄, 劉忠立,于芳,中國科學院半導體研究所 ,2007-10-17。

4 、一種可重構(gòu)的乘法器, 余洪敏, 陳陵都, 劉忠立,中國科學院半導體研究所, 2010-01-13。

5、針對多模式邏輯單元可編程門陣列的工藝映射方法, 張琨,周華兵, 陳陵都, 劉忠立,中國科學院半導體研究所, 2010-02-24。

6、全集成高線性三角波發(fā)生器, 李霄鹍, 石寅, 劉忠立, 中國科學院半導體研究所 ,2006-06-21。

7、形成于PD SOI 襯底上的靜態(tài)隨機存儲器及其制作方法,趙凱, 劉忠立, 姜凡, 中國科學院半導體研究所, 2007-07-04。

8、改進的部分耗盡絕緣體上硅靜態(tài)隨機存儲器存儲單元, 趙凱, 劉忠立, 于芳, 中國科學院半導體研究所, 2009-05-27 。

論文專著:


已在國內(nèi)外主要刊物上發(fā)表了90余篇論文,著有30萬字專著《CMOS集成電路原理、制造及應用》一本。

出版專著:

1. 《CMOS集成電路原理制造及應用》,劉忠立,電子工業(yè)出版社,1990年。

2. 《研究生專業(yè)參考教程第一卷》,本書共六章,劉忠立著第六章:“微電子學中的半導體器件”,1995年,中科院半導體所內(nèi)部發(fā)行。

3. 《電子器件抗輻射加固技術(shù)》,本書共九章,劉忠立著第七章:“CMOS/SOS 及 CMOS/SOI 集成電路的輻射效應及加固技術(shù)”,裝備部出版, 2001年。

4. 《特高頻射頻識別技術(shù)及應用》,李全圣,劉忠立,吳里江,國防工業(yè)出版社,2001年。

出版譯著:

1. 《半導體輻射探測器》,劉忠立譯,國防工業(yè)出版社, 2004年。

2. 《先進半導體材料及器件的輻射效應》,劉忠立譯,國防工業(yè)出版社, 2008年。

發(fā)表論文:

1. 劉忠立,論N溝道增強型MOS晶體管,半導體通訊,1973,No.3, pp1-7.

2. 劉忠立,用于鈍化鈉離子的摻HCL氧化方法,全國半導體表面鈍化會議,1975,pp126-130.

3. 劉忠立,P溝Si柵N溝Al柵CMOS手表電路,半導體通訊,1976, No.3, pp1-10.

4. 劉忠立,一種簡易的監(jiān)控Si-SiO2界面質(zhì)量的水銀探針,物理學報,1977, Vol.26, No.3, pp281-284.

5. 劉忠立,用于MOS器件閾值電壓設(shè)計的諾摸圖,無線電技術(shù),1977, pp44-45.

6. Liu Zhongli, et al, CMOS Devices Buried Silicon Nitride Formed by Nitrogen Implantation, Proceeding of 12th ESSDERC, Sept.1982, pp172.

7. G.Zimmer, Liu Zhongli, et al, Buried Silicon-Nitride Layers Formed by Nitrogen-Ion Implantation and High-Temperature Annealing, Ion Implantation Equipment and Technology (H.Ryssel and H.Glawishs), 1983, pp426-432.

8. Zimmer G, Neubert E, Zetzmann, W, Liu, Z, CMOS-DEVICES ISOLATED BY ION-IMPLANTED BURIED SILICON NITRIDE, Technical Digest - International Electron Devices Meeting, 1982, pp 789-790.

9. G.Zimmer, Liu Zhongli, et al, CMOS Technologie auf Vergrabennen Ziliziumnitrid, MTG-Fachtagung Grossintegration, 1982, pp130-133.

10. 劉忠立等,離子注入氮化硅隔離的CMOS器件,半導體學報,1983, Vol.4,No.6,pp601-605.

11. 劉忠立,N阱全離子注入硅柵CMOS工藝中短和窄溝MOS晶體管的某些實驗特性,第三屆全國半導體集成電路和硅材料學術(shù)會議論文集,1983, pp282-283.

12. Liu Zhongli, et al, High Performance Radiation Tolerant CMOS/SOS ICs, Institute of Semiconductors, Academy Sinica,Research Progress Report, 1985-1986, Vol.5, pp38-40.

13. 劉忠立等, SOS/CMOS集成電路的研制及其在存儲電路中的應用展望,第五屆信息存儲技術(shù)學會論文集, 1986.

14. 劉忠立等,加固至抗γ總劑量達107 Rad(Si)的SOS/CMOS ICs,抗核加固,1987, Vol.4, No.1.

15. 劉忠立等,高水平抗輻射SOS/CMOS集成電路,第五屆全國半導體集成電路和硅材料學術(shù)會議論文集,pp139-141.

16. 劉忠立等,CMOS/SOS集成電路輸入保護電路設(shè)計,“抗核輻射電子學會論文集”,1987.

17. Liu Zhongli, et al, An Excellent High Voltage NMOS/SOS Driver, the Proceeding of the Second International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Oct. 1989, pp 449-451.

18. 劉忠立等,一種優(yōu)良的NMOS/SOS驅(qū)動器,第六屆全國半導體集成電路和硅材料學術(shù)會議論文集,1989, pp216-217.

19. 劉忠立等,用于通信衛(wèi)星上的CMOS/SOS集成電路, 抗核加固,1990, No.3.

20. 劉榮寰,劉忠立等,加固的CMOS/SOS集成電路抗γ瞬態(tài)輻射的最新結(jié)果,抗核加固,1990, No.3.

21. 劉忠立等,多晶硅摻雜方式對MOS電容器電離輻射特性的影響,抗核加固技術(shù)研究,1992年部分成果集,國防預研抗輻射加固項目辦公室編,1992, pp 130-132.

22. 和致經(jīng),劉忠立等,SOS 結(jié)構(gòu)條形柵MOS管島邊效應的加固技術(shù),第五屆全國抗輻射電子學學術(shù)會議,1993,pp 72-75.

23. 劉忠立,MOS電容器中電離輻射產(chǎn)生的界面態(tài)同SiO2內(nèi)被陷阱俘獲的空穴電荷之間的關(guān)系, 第五屆全國抗輻射電子學學術(shù)會議,1993, pp69-71.

24. 劉忠立,軍用CMOS/ SOS的可靠性及發(fā)展動態(tài),軍用電子元器件可靠性論文選,國防科工委軍用電子元器件可靠性專業(yè)組編,1994, pp32-36.

25. Zhongli Liu, et al, Improvement of CMOS/SOS Devices Characteristics by a Modified Solid Phase Epitaxy, Proceedings of the 5th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology , 1998, pp191-194.

26. Jiping Nie, Zhongli Liu, et al, JFET/SOS Devices: Processing and Gamma Radiation Effects, Proceedings of the 5th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, 1998, pp67-70.

27. Wenyu Gao, Zhongli Liu, et al, Dependence of Ultra Thing Gate Oxide Reliability on Surface Clealing Approach, the Proceedings of the 5th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology,1998, pp291-294.

28. 高文鈺,劉忠立等,硅表面清洗對熱氧化13nm SiO2可靠性的影響,半導體學報,1999, Vol.20, No.5, pp383-388.

29. 聶紀平,劉忠立等,輻射加固的JFET/SOS:工藝及γ輻射效應,半導體學報,1999, Vol.20, No.8, pp676-681.

30. 劉忠立等,利用改進的固相外延技術(shù)改善CMOS/SOS器件的特性,半導體學報,1999, Vol.20, No.5, pp433-437.

31. 高文鈺,劉忠立等,硅表面清洗對7nm熱 SiO2柵介質(zhì)可靠性的影響,半導體學報,1999, Vol.20, No.10, pp930-935.

32. 魏紅振,余金中,劉忠立,王啟明,硅基光波導及光波導開關(guān)的研究進展,半導體光電,1999, Vol.20, pp369-376.

33. 高文鈺,劉忠立等,硼擴散引起的SiO2柵介質(zhì)的性能退化,電子學報,1999, Vol.27, No.8, pp144.

34. 魏紅振,余金中,張小峰,劉忠立等,SOI光波導分束器,第四屆SOI技術(shù)研討會論文集,2000, pp147-149.

35. 劉新宇,劉忠立,吳德馨等,0.8-1.2µm SOI/ CMOS 工藝研究,第四屆SOI技術(shù)研討會論文集,2000, pp78-82.

36. 劉新宇,劉忠立,吳德馨等,一種40nm的SOI 64k CMOS SRAM研究, 第四屆SOI技術(shù)研討會論文集,2000, pp34-38.

37. 王延峰,劉忠立等,閃爍存儲器分類及其應用,集成電路設(shè)計,2000, No.2.

38. 劉忠立, 信息領(lǐng)域中的主要新型元器件(上),電子產(chǎn)品世界,2000, N o.4,pp52-53.

39. 劉忠立,信息領(lǐng)域中的主要新型元器件(下),電子產(chǎn)品世界,2000,No.5,pp73-74.

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